【課題】処理溶液の溶媒の気化を抑制することができると共に、気化した溶媒を適切に排気することができる浸漬処理装置を提供する。
【解決手段】処理溶液にワークＷを浸漬することにより、ワークＷの表面処理を行うワーク処理槽５と、ワーク処理槽５を開閉する開閉蓋１４と、開閉蓋１４を開閉動作させる蓋移動機構１８と、これら構成装置を収容する装置カバー６と、上流側を装置カバー６に接続され、下流側を排気設備に接続した排気ダクト２５と、排気ダクト２５を開閉する排気ダンパー２７と、蓋移動機構１８および排気ダンパー２７を制御する制御手段９と、を備え、制御手段９は、蓋移動機構１８の開放動作に同期して排気ダンパー２７を「閉」動作させると共に、蓋移動機構１８の閉塞動作に同期して排気ダンパー２７を「開」動作させる。 （もっと読む）

【課題】 コントローラを糊付機本体から取り外し、コントローラに給電した場合に駆動源の駆動を禁止することのできる自動壁紙糊付機を得る。
【解決手段】 駆動源を搭載したコントローラによって、シート状壁装材を糊付機本体の後面側から引き入れ移動経路に沿って前面側に移動させることにより、下部構体内に配設した糊桶内の糊液を糊付けローラで壁装材の裏面に連続的に塗布する自動壁紙糊付機において、コントローラを糊付機本体から外した際に前記駆動源の作動を禁止する駆動源作動禁止手段を備えたもの。 （もっと読む）

【課題】流路抵抗が変動することに着目して、チェッキ弁の離脱を判断することができるベローズポンプ及びこれを備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】ポンプ本体９のチェッキ弁２１〜２４が破損して離脱すると、ベローズ１９，２０へ吸引またはベローズ１９，２０から吐出される液体の流路抵抗が小さくなる。したがって、一対のベローズ１９，２０が収縮する際の動作時間が短くなる。これを一対の近接センサ３７で検出することができるので、チェッキ弁２１〜２４が破損して離脱したと制御部３９が判断することができる。 （もっと読む）