【課題】処理容器の内側面を簡単かつ効果的に洗浄できるようにし、メンテナンス性や信頼性を向上させる。
【解決手段】回転カップ６０を洗浄するときは、基板Ｇの入っていない空のカップ本体６８に蓋体７０を被せた状態で、駆動部６６の回転駆動によりスピンチャック６２と回転カップ６０を適当な回転速度でスピン回転させる。そして、切換弁９０において回転支持軸６４側のポート９０ａを洗浄液供給源８８側のポート９０ｃに切り換えて、洗浄液供給源８８からの洗浄液を回転支持軸６４の流体通路６４ａを介してスピンチャック６２の流体通路９２に送り、スピンチャック６２の裏面側の洗浄液吐出口９４より回転カップ６０の内側面に向けて洗浄液を吐出させる。 （もっと読む）

【課題】ワークにおける指標の位置にかかわらずパターンの形成（描画）を行うことができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、装置本体と、基板搬送テーブルと、基板搬送テーブルをＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構と、液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニット１１と、ヘッドユニット１１をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動機構６とを備える。Ｘ軸方向移動機構６は、アライメントカメラ１７を、ヘッドユニット１１と独立にＸ軸方向に移動させる。 （もっと読む）