【課題】 簡単かつ安価な構成でありながら、スタンパの処理面延いては被処理対象物を均一かつ急速に加熱及び冷却することができると共に、精度良く温度を制御可能な熱板を提供する。
【解決手段】 このため、本発明に係る熱板は、被処理対象物に対して熱の授受を行うための熱板３０であって、被処理対象物に対する熱の授受面に対して略平行に並んで配設される複数の流体通路３１と、当該複数の流体通路３１より前記熱の授受面から遠い位置において前記複数の流体通路３１と略平行に並んで配設され内部に電熱ヒータが挿入される複数のヒータ穴３２と、を備え、前記熱の授受面に略直交する方向から見たときに、ヒータ穴３２の長軸方向中心軸が流体通路３１の長軸方向中心軸と略一致すると共に、隣接するヒータ穴３２の間に少なくとも１つの流体通路３１が配設されることを特徴とする。 （もっと読む）