【課題】パターン形成において成形材と被成形材とを迅速に剥離させることが可能な、新規かつ改良されたインプリント方法を提供する。
【解決手段】所望のパターンが形成されたモールド１０をレジスト３０に圧着させることによりモールド１０の反転パターンをレジスト３０に転写する転写工程と、加熱または光の照射によりレジスト３０を硬化させる硬化工程と、硬化工程によりレジスト３０が硬化した後、モールド１０とレジスト３０とを剥離する剥離工程と、を含み、剥離工程は、モールド１０をレジスト３０の圧着方向と反対方向に引き離す引離し工程と、レジスト３０をモールド１０の圧着方向と同方向に押し付ける押付け工程と、を含むことを特徴とするインプリント方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】薄膜部の厚さが制御され所望のパターン形状を有する光硬化物複合体及び該光硬化物複合体を形成するための光硬化性組成物並びに光硬化物複合体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１と、該基板１上に形成され薄膜部２及び該薄膜部２から突出した突出部３からなる光硬化物７とを具備する光硬化物複合体であって、前記薄膜部２は、該薄膜部２の厚さ方向に重ならない粒子６を含有し、前記薄膜部２の厚さは前記粒子６によって規定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、樹脂スタンパの連続転写性を向上させ、高精度で連続転写が可能な微細構造体層を有する微細パターン転写用スタンパ及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、支持基材１上に微細構造体層２を有する微細パターン転写用スタンパ３において、前記微細構造体層２は、複数の重合性官能基（ビニル基、エポキシ基、オキセタニル基、ビニルエーテル基及び（メタ）アクリル基から選ばれる官能基）を有するシルセスキオキサン誘導体を主成分とする樹脂組成物の重合体であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、微細形状転写シートの製造装置に関し、成形過程において金型の損傷が発生しても、金型を全面修正する必要がなく、基板上に粘着剤により固定された表面に微細形状が形成された複数の金型片のうち、損傷した金型片のみを交換することにより、低生産コスト化ならびに高生産効率化が可能となる。
【解決手段】
本発明の微細形状転写シートの製造装置は、
微細凹凸形状が片面に形成された複数の金型片からなる金型と、
緩衝材と、
該緩衝材を該金型側へ押圧するためのプレート板とを含む微細形状転写シートの製造装置であって、
前記金型が、前記複数の金型片が粘着剤を介して基板上に固定されたものであり、該粘着剤が該金型片の微細凹凸形状が形成された面とは反対側の面の端部にのみ接着されていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 ナノインプリント工程を用いて３次元微細パターンや多段パターンを成形する方法とこのようなパターンを成形するためのモールドの製作方法を提供する。
【解決手段】 紫外線を遮断できる遮断膜がパターニングされている基板上にモールド用ポリマーをパターニングすることによって、ナノインプリント工程を適用する上で難が多かった多段インプリント用のモールドを１段形態に容易に製作し、製作された１段形態のモールドを用いて、複雑な工程を数回行うことなく容易に多段形態のパターンを成形することによって、大面積微細パターンの成形、平板ディスプレイに使われる大面積パターンの成形、さらには半導体工程の数十ナノパターンに適用し、工程コスト低減、工程時間短縮及び製造収率向上に寄与できる工程方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 ナノインプリントと乾式エッチング工程とを用いて多様な形態のナノインプリント用のレプリカモールドを製作する方法と製作されたナノインプリント用のレプリカモールドでナノインプリント工程を用いて多段パターンや微細パターンを成形する方法を提供する。
【解決手段】 金属パターンがパターニングされている基板のモールド用レジンをナノインプリントと乾式エッチング工程とを用いて、ナノインプリント工程を適用する上で難が多かった様々な形態のモールドを容易に製作し、複雑な工程を数回行うことなく、製作されたモールドでナノインプリント工程を用いてナノ級パターンや複雑な３次元形状の微細パターンの成形を可能にする工程方法を提供する。これにより、大面積微細パターンの成形及び半導体工程の数十ナノパターンへの適用が可能になり、工程費用の低減、工程時間の短縮及び製造収率の向上が図られる。 （もっと読む）

【課題】 被転写基板上に形成される欠陥の発生を抑制できるナノインプリント方法を提供すること。
【解決手段】 ナノインプリント方法は、パターンを含むテンプレート１４に付着したパーティクル１５を除去する工程と、テンプレート１４を被転写基板１１ｄ，１２に押し付け、テンプレート１４の前記パターンを被転写基板１１ｄ，１２に転写する工程とを含むナノインプリント方法であって、パーティクル１５を除去する工程は、被転写基板１１ｄ，１２の表面よりもテンプレート１５に対する密着性が高い密着性部材１２にテンプレート１４を押し付ける工程と、密着性部材１２からテンプレート１４を離す工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】転写された微細構造体と設計寸法との間を好適に見積もれるインプリントモールドを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明によれば、凹凸パターン幅が小さくなるに従って凹部の側壁角度が傾斜が大きくなることにより、硬化収縮による傾斜変化とインプリントモールドの凹部の傾斜形状とが互いに相殺されるため、凹凸パターン幅の異なる凹凸パターンが転写された微細構造体の側壁角度のバラツキを抑制することが出来る。よって、側壁角度のバラツキを抑制されることから、転写された微細構造体と設計寸法との間を好適に見積もることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】コストをかけずに作業者が転写装置セットする方向を視認しやすいインプリント用スタンパを提供する。
【解決手段】本発明は、凹凸パターン部１３０を有する第１面１１０とこの第１面１１０と対向する第２面１２０とを有するインプリント用スタンパ１００であって、第１面１１０の四隅のいずれか1つにはノッチ部１１１が設けられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】環境問題に対処することのできる安価な離型フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】金型により成形品を成形する際、金型に挿入される離型フィルム１０の製造方法であって、ポリエステル系エラストマー１００重量部に対してシリコーンゴムを１．０〜２０．０重量部添加して溶融混練することにより成形材料を調製し、この成形材料により離型フィルム１０を成形し、この成形した離型フィルム１０を、圧着ロール２２・２４、金属ロール２３、及びこれら２２・２３・２４の下流に位置する巻取管２６の間に巻きかけて張架するとともに、離型フィルム１０を圧着ロール２２と金属ロール２３とに挟持させる。 （もっと読む）