Fターム[4F209AM15]の内容
曲げ・直線化成形、管端部の成形、表面成形 (35,147) | 成形装置、成形操作のその他の特徴 (348) | 成形装置の(非成形時の)運搬(←交換) (3)
Fターム[4F209AM15]の下位に属するFターム
可搬性装置 (1)
コンベアによるもの
台車によるもの
Fターム[4F209AM15]に分類される特許
1 - 2 / 2
微細構造転写装置及びスタンパ移送方法
【課題】従来の微細構造転写装置と比較して、スタンパの交換に要する時間を短縮することができると共に、スタンパの転写面に異物が付着するのを防止することができる微細構造転写装置を提供する。
【解決手段】スタンパヘッド23に取り付けられたスタンパ2を被転写体5に押し付けて、前記スタンパ2に形成された微細な凹凸パターンを前記被転写体5の表面に転写する微細構造転写装置1において、前記スタンパヘッド23に対して近接移動可能な移動ステージ31と、この移動ステージ31に設けられたスタンパ保持部32とを備え、前記スタンパ保持部32が、前記スタンパ2の前記凹凸パターンの形成面を粘着保持可能な粘着層35を有することを特徴とする。
(もっと読む)
インプリント用スタンパおよびインプリント方法
【課題】被転写基板の局所的な突起に追従し、パターン転写不良領域を低減することが可能で、耐久性のあるスタンパおよび転写方法を提供する。
【解決手段】表面に凹凸形状が形成されたインプリント用スタンパにおいて、前記凹凸形状が形成された樹脂製のパターン層と、前記パターン層の裏面に配置された樹脂製の緩衝層と、前記緩衝層の裏面に配置された基材層とを有し、前記緩衝層のヤング率が前記パターン層のヤング率よりも小さく、前記基材層のヤング率が前記緩衝層のヤング率よりも大きいことを特徴とするインプリント用スタンパ。
(もっと読む)
1 - 2 / 2
[ Back to top ]