【課題】寸法精度に優れたインプリントに用いられるモールドを製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】ドライエッチング装置を用いて石英製の基板１０をドライエッチングすることにより、インプリントに用いるモールドの製造方法において、基板１０に凹凸パターンを有したエッチングマスク２０を形成するマスク形成ステップと、エッチングマスク２０の側壁への保護膜３０の形成と基板１０のエッチングとを同時に行うエッチングステップとを含む。これにより、基板１０をエッチングすると共にエッチングマスク２０の側壁に保護膜３０が形成されるので、エッチングマスク２０の側壁の侵食が阻止される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、シート状体の凹凸ローラによる凹凸の転写形状を均一にできる凹凸状シートの製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】本発明のエンボスシートの製造装置１０では、エンボスローラ１３の回転速度をロータリエンコーダ２１によって検出し、検出されたエンボスローラ１３の回転数に基づき、エンボスローラ１３のモータ２０を、モータドライバ２２を介してコントローラ２３により制御することにより、シートＷの走行速度を制御する。これにより、エンボスローラ１３とシートＷとの間でスリップが生じないようにエンボスローラ１３の回転速度を高精度に制御可能なので、塗布液Ｆによる樹脂層の膜厚が変動した場合であっても、シートＷのエンボスローラ１３による凹凸の転写形状を均一にできる。 （もっと読む）