【課題】 低温焼結セラミック基板との接合性に優れ、熱伝導性、電気伝導性、誘電性に関して所望の特性を有し、基板強度や基板特性に優れたセラミック多層基板を提供すること。
【解決手段】 ＢＡＳ等の低温焼結セラミック材料にＣｕ、Ａｇ等の低融点金属を混合してなるセラミック層１１と、前記低温焼結セラミック材料を主成分とする低温焼結セラミック基板１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ及び１２ｅとを積層、焼成してなるセラミック多層基板１０。 （もっと読む）

【課題】 品質のよい多孔質セラミックチューブを歩留まり良く生産する、生産性の高い多孔質セラミックチューブの製造方法の提供。
【解決手段】 セラミック原料からなるグリーンチューブを焼成する多孔質セラミックチューブの製造方法において、前記グリーンチューブを耐火櫃体内に横置きし、グリーンチューブの内外にセラミックボールを充填してグリーンチューブを焼成する。 （もっと読む）

【課題】 価格および形状制約の問題が生じず、ハロゲン系プラズマに対する耐性が高い耐食性セラミック材料を提供すること。
【解決手段】 周期律表３Ａ族に属する元素のうち少なくとも１種の元素と周期律表４Ａ族に属する元素のうち少なくとも１種の元素とを含む酸化物を主体とすることで、耐食性のセラミックス材料が得られる。 （もっと読む）