本発明は、キャリアガス（２）と液体複合物（３）または溶液とを蒸発チャンバ（４）に導入するための装置（１）に関し、当該装置（１）は、少なくとも−上記複合物または上記溶液（３）の吸入のための第１注入口（８）と、−キャリアガス（２）の吸入のための第２注入口（９）と、注入器（１４）の注入口に接続される排出口（１３）と、を備え、キャリアガスと上記複合物または上記溶液の液滴との混合物が単一の注入器の排出口（１４）を介して蒸発チャンバ（４）に周期的に注入される。
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【課題】 マイクロデバイス内において複数の液体を混合でき、かつ混合した液体を定量的に秤取することのできる微量液体秤取構造及び方法を提供する。
【解決手段】 流路Ｉに第１の液体を導入して流路ＩＩＩの構造内を液で満たし、その後空気を導入することで流路Ｉに残存する第１の液体を取り除く。その後第２の液体を流路Ｉに導入すると、流路ＩＩＩの構造内の部分ＩＩＩａが部分的に小さくなっているため、第２の液体は部分ＩＩＩａの手前で第１の液体と交換される。再び空気を導入して流路Ｉに残存する第２の液体を取り除き、さらに強い圧力で流路Ｉに空気を導入すると、流路ＩＩＩの内部に秤取されている第１の液体と第２の液体は、流路ＩＶを介して流路Ｖに押し出すことができる微量液体秤取構造及び方法を利用する。 （もっと読む）