【課題】真空紫外光を利用して、より低い温度で結晶性の金属酸化物膜を形成可能な製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の金属酸化物膜製造方法は、熱分解により金属酸化物を形成可能な金属酸化物前駆体を含む前駆体皮膜を用意することを含む。また、Ｏ₂濃度７モル／ｍ³以上の雰囲気中で前記皮膜に向けて主波長１３０〜１８０ｎｍの真空紫外光を照射して該皮膜から結晶性の金属酸化物膜を形成させることを含む。かかる製造方法によると、例えば、８０℃以下の温度で前記真空紫外光の照射を行うことによって、結晶性の金属酸化物膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】従来品よりも更に微細化された球状無機質中空粉体、特に微細化とともに更に高中空率化・高純度化された球状無機質中空粉体と、その製造方法及びそれを含有した樹脂組成物を提供する。
【解決手段】平均粒子径が０．０１〜１μｍ、平均中空率が２５〜８０体積％である球状無機質中空粉体。この球状無機質中空粉体を含有してなる樹脂組成物。外側より助燃性ガス供給管、可燃性ガス供給管、助燃性ガス供給管、無機質原料粉末供給管の順に組まれた四重管部分を少なくとも備えたバーナーを用いて高温火炎を形成し、上記無機質原料粉末供給管からはスラリーにした無機質原料粉末を供給し、球状化・中空化させる球状無機質中空粉体の製造方法。 （もっと読む）