【課題】正確に膜厚を制御した最小構成元素数の銅酸化物高温超伝導体ＲＥ₂ＣｕＯ₄（ＲＥは希土類元素）の単結晶薄膜をより大きな面積に形成できるようにする。
【解決手段】形成対象の化合物ＲＥ₂ＣｕＯ₄と、面内および面間の少なくとも１つの格子定数が±１％の範囲で一致する単結晶から構成された単結晶基板１０１の上に、希土類元素ＲＥと銅と酸素とを含んで構成された前駆体薄膜１０２を、蒸着法により形成する。蒸着における希土類元素ＲＥおよび銅の供給量を制御することなどにより、形成される前駆体薄膜１０２における希土類元素ＲＥおよび銅の組成比を、化学式ＲＥ₂ＣｕＯ₄の化学量論組成にする。この後、高温、低酸素分圧雰囲気下での固相エピタキシーと低温還元により酸素の組成も化学量論組成に合わせて超伝導化した単結晶薄膜を作製する。 （もっと読む）

【課題】銅酸化物を用いた超伝導体をより容易に合成できるようにする。
【解決手段】酸素分圧を１００．３２５Ｐａに維持した状態で酸素・窒素混合ガスを供給し、大気より小さい酸素分圧の低酸素雰囲気とした管状の炉内で、８５０℃の条件で加熱処理（本焼成）し、結晶基板１０１の上に、過剰酸素を含むＲＥ₂ＣｕＯ_4+δもしくはＡＥＣｕＯ_2+δからなる金属酸化物層１０３が形成された状態とする。次に、金属酸化物層１０３が形成された結晶基板１０１を、大気圧より低い圧力の減圧雰囲気とした真空中で、例えば４４０℃・１０分の条件で加熱処理し、金属酸化物層１０３より酸素を除去し、これをＲＥもしくはＡＥと銅と酸素との化学量論組成の酸化物とし、結晶基板１０１の上に、超伝導体薄膜１０４が形成された状態とする。 （もっと読む）