Fターム[4G068CB01]の内容
供給、排出、か焼、融解、ガス発生 (6,716) | 融解(装置、方法) (7) | 装置、炉 (4)
Fターム[4G068CB01]の下位に属するFターム
バーナー、熱風により加熱するもの (1)
加熱ジャケットのあるもの
加熱チューブのあるもの
電気ヒータのあるもの
通電加熱によるもの
アーク、アークプラズマによるもの (2)
レーザー加熱によるもの
誘電加熱によるもの
電子ビームによるもの
Fターム[4G068CB01]に分類される特許
1 - 1 / 1
ナトリウム供給装置及びナトリウム供給方法
【課題】窒化ガリウム(GaN)の結晶成長を促進するフラックスとして機能するナトリウムを低コストで精製し供給する装置及び方法を提供する。
【解決手段】原料である固体ナトリウムslを収容すると共に、液体ナトリウムmlについて通過自在かつ前記固体ナトリウムslに不可避的に含まれるナトリウム化合物については通過を阻止して除去するろ過機能を有するろ過容器1と、固体ナトリウムslが溶融し、かつ、前記ナトリウム化合物が溶融しない温度に固体ナトリウムslを加熱する加熱保温部15と、ろ過機能に基づいてろ過容器1から流れ出た液体ナトリウムmlを坩堝Bに供給する供給手段と、ろ過容器1、加熱保温部15及び供給手段を非酸化性雰囲気に保持するチャンバ16とを具備する。
(もっと読む)
1 - 1 / 1
[ Back to top ]