【課題】金属をドープしたＴｉＯ_２膜を高速にて成膜する方法を提供する。
【解決手段】ＴｉＯ_ｘ（但し、ｘは０．５以上１．９９以下）よりなる第１のターゲット２１ａと、金属をドープしたＴｉＯ_ｘ（但し、ｘは０．５以上１．９９以下）よりなる第２のターゲット２１ｂに、交互にパルスパケット状の電圧を印加する。ターゲット２１ａのスパッタ時におけるＴｉの放電の発光波長と発光強度が、ＰＥＭ３１ａによって検知される。また、ターゲット２１ｂのスパッタ時におけるＴｉ及びドープ金属の放電の発光波長と発光強度が、コリメータ３０ｂ、フィルタ及び光倍増幅管を介して電気信号となり、ＰＥＭ３１ｂによって検知される。各ターゲット２１ａ，２１ｂのスパッタ速度が算出され、この算出結果に基づき、各ターゲット２１ａ，２１ｂに付与されるパルス電力、パルス量及びパルス幅、カバー２６内に導入する酸素量、並びにカバー内の圧力が制御される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、メタンを主成分とする低級炭化水素と水蒸気を混合して反応させるスチーム改質において、優れた耐酸化性を有するとともに、低温における反応においても優れた触媒活性を有し、低スチーム下においても耐コーキング性に優れる炭化水素分解用触媒の提供を目的とする。
【解決手段】 マグネシウム、アルミニウム、ニッケルを構成元素とし、且つ、アルカリ金属（Ｎａを除く）、アルカリ土類金属（Ｍｇを除く）、Ｚｎ、Ｃｏ、Ｃｅ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｌａから選ばれる一種又は二種以上の元素を含有する炭化水素分解用触媒であって、金属ニッケル微粒子の平均粒子径が１〜１０ｎｍであって金属ニッケルの含有量が炭化水素分解用触媒に対して０．１〜４０ｗｔ％であって金属ニッケルの含有量が炭化水素分解用触媒を構成する全金属イオンの合計モル数に対して０．０００７〜０．３４２である炭化水素分解用触媒である。 （もっと読む）