【課題】小型化された装置において使用されるために十分に小さく、一方で、有機化合物（特に、非極性有機化合物）における均一な分散のためにもまた好適でなければならないモレキュラーシーブを提供すること。
【解決手段】本発明は、１０００ｎｍ以下の粒子サイズを有する粒子を含み、粒子の表面が一般式ＳｉＲ^１Ｒ^２Ｒ^３Ｒ^４のシランにより被覆される疎水性被覆されたモレキュラーシーブ、同様にまた、その製造方法、および、その使用方法に関する。加えて、本発明は、そのような被覆されたモレキュラーシーブの使用、同様にまた、そのようなモレキュラーシーブを含む組成物、および、装置（例えば、電子的構成要素および電子デバイスなど）の製造における使用に関する。
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本発明は、架橋有機基を含有する金属酸化物材料（たとえば架橋型有機シリカ）中の架橋有機基の化学変換に関する。そのような変換は、低誘電率（ｋ）用途向けに性質を大幅に改良する。特定の温度で熱処理すると、有機基が架橋形から末端形に変換され、それにより、極性ヒドロキシル基が消費されることが明らかにされる。変換によりｋが減少し疎水性が増大する（「自己疎水化」を介する）。架橋−末端変換の結果として、ポーラス有機シリカ皮膜は、ｋ＜２．０、Ｅ＞６ＧＰａを有し、脱ヒドロキシル化（疎水性）のための追加の化学的表面処理を必要としないことが明らかにされる。 （もっと読む）