【課題】生産性が高く、安価で、かつ耐薬品性に優れ、種々の条件で使用することのできるマイクロ化学チップおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックグリーンシート３２の表面に、予め定める形状の型を押圧して溝部３６を形成した後、溝部３６を覆うように別のセラミックグリーンシート３１を積層し、積層したセラミックグリーンシート３１，３２を所定の温度で焼結させることによって、被処理流体を流通させる流路が形成されたセラミック材料から成る基体を形成し、マイクロ化学チップを得る。このマイクロ化学チップは、生産性が高く、また製造原価も低いので、安価である。また、耐薬品性に優れ、種々の条件で使用することができる。 （もっと読む）

使い捨て可能な可撓性容器１０は第２のチャンバ１２から第１のチャンバ１１を分離する隔壁５００を備える。隔壁に流体を流すことによって、流体は第１のチャンバから第２のチャンバに移動するにつれて処理される。特定の構成の隔壁によって、流体の混合、反応、加熱、及び冷却のほか濾過などの処理が可能となる。
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【課題】 真空ポンプを損傷させず整備、点検の容易で且つ燃焼処理を必要としないＰＦＣの処理方法および処理装置を提供する。
【解決手段】 真空室１２の後段には配管１４を介して真空ポンプ１６と反応ガス導入部１７とプラズマ処理部１８と重合体回収部２０とが連続して設置され、処理装置１０を構成する。このように処理装置１０を構成すれば、プラズマ処理後の反応物が真空ポンプを通過することがなく、反応物によって真空ポンプが損傷するのを防止することができる。またプラズマ処理を行う部分については大気圧の環境に設置されるため、プラズマ処理部の整備や点検を容易に行うことができる。また混合ガスをプラズマ処理することによって重合体を生成するので、当該重合体を回収するだけでＰＦＣの処理を済ませることができる。 （もっと読む）