【課題】設置面積が小さく、処理時間が短い、内部を汚染させ難い膜形成装置を提供する。
【解決手段】真空ポンプＰに通じる配管８１が接続される排気口８を有する真空チャンバ１と、この排気口が形成された真空チャンバの壁面を下とし、この真空チャンバ下部に配置され、基板Ｗを保持すると共にこの基板の冷却を可能とするステージ２と、真空チャンバ内に、原料有機分子を気化させて導入し得る原料導入手段４と、原料導入手段を介して真空チャンバ内に導入された原料有機分子を基板表面に堆積させた後、基板上方に対向配置されてこの堆積した原料有機分子に光を照射して重合反応を引き起こす光照射手段３とを備える。原料導入手段は、照射面を囲う環状のシャワーヘッド４３を有し、このシャワーヘッドから噴出された原料有機分子を基板表面へと導くガイド手段５を設けた。 （もっと読む）

本発明は、ゼロ価金属および開始剤によって開始される、気相蒸着重合によるポリマーの新規な製造方法に関する。 （もっと読む）