Fターム[4J030CE03]の内容
硫黄、リン、金属系主鎖ポリマー (6,776) | 重合方法 (235) | 重合形態 (168) | 気相重合 (2)
Fターム[4J030CE03]に分類される特許
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半導体装置、半導体装置の製造方法および薄膜
【課題】導電性または半導体性を示す、新規な環状シロキサン重合体を含む半導体装置を提供する。
【解決手段】この半導体装置は、中心金属に遷移金属を有する構造単位(A)と、隣り合う構造単位(A)の間に位置し、環状シロキサン骨格を含む構造単位(B)と、を含むプラズマ重合体からなる電荷輸送層を備えている。なお、中心金属に遷移金属を有する有機金属化合物と、環状シロキサン化合物と、を反応炉でプラズマ重合させることにより、当該電荷輸送層を形成する。
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