【課題】高Δｎで且つ着色のない膜の作製に有用な重合性組成物の提供。
【解決手段】式（Ｉ）で表される化合物で表される化合物を含む重合性組成物である。Ｐ¹及びＰ²は重合性基；ｍ１及びｍ２は１〜１０の整数；Ａ¹、Ａ²、及びＡ³は置換されていてもよい所定の環状基；Ｒは水素原子又はアルキル基；Ｚ¹は、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＯＣＯ−ＣＨ＝ＣＨ−、−ＮＨＣＯ−、又は−ＮＲ¹ＣＯ−；Ｌ¹及びＬ²は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＯＣＯ−ＣＨ＝ＣＨ−、−ＯＣＯＯ−、−ＮＨＣＯ−、又は−ＮＲ¹ＣＯ；ｎ１は１又は２である。
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【課題】 フッ素化層を基板上に付着するための方法を提供する。
【解決手段】 この方法は、フッ素化化合物とキャリヤーガスを含むガス状混合物の０．８〜１．２ｂａｒの圧力で大気低温プラズマの放電または後放電のための領域中に注入することを含む。本発明は、フッ素化化合物が１ｂａｒの圧力で２５℃を越える沸点を持つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異なる化学構造を持つ複数種類のポリマーをターゲット材料とすることで、高周波スパッタ法による一つのプロセスによって、分子レベルで構造が混合された新たな複合ポリマー材料を提供する。
【解決手段】固体のポリマーＡの上に、Ａと異なる分子構造を有するポリマーＢ溶液を展開し乾燥させた複合材料をターゲットとして用い、高周波スパッタで基板上に、微細なグレインが高密度に凝縮した構造を形成する。 （もっと読む）