【課題】本発明の目的は、感度等の基本特性を満足し、ＬＷＲ等を指標としたリソグラフィー性能に優れ、さらにパターン裾部分に残渣を生じることなく良好な矩形性のパターン形状を有するパターンを形成することができる感放射線性組成物を提供することである。
【解決手段】本発明は、［Ａ］下記式（１）で表される繰り返し単位（Ｉ）を有する重合体成分、及び［Ｂ］感放射線性酸発生体を含有する感放射線性組成物である。また、下記式（１）におけるＲ^５及びＲ^６のいずれかとＲ^４とは互いに結合して炭素数５〜２０の環構造を形成していることが好ましい。
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【課題】式−ＣＦ_２Ｏ−で表されるモノマー単位を含む重合体の製造方法、新規な該重合体、および該重合体を必須とするペリクルを提供する。
【解決手段】式ＣＯＦ_２で表される化合物を重合させる式−ＣＦ_２Ｏ−で表されるモノマー単位を含む重合体の製造方法。該モノマー単位と、式ＣＯＦ_２で表される化合物と重合しうる重合性の不飽和化合物の重合により形成されたモノマー単位とを含む新規な重合体、該重合体を必須とするペリクル。 （もっと読む）