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Fターム[4K029DB09]の内容

物理蒸着 (93,067) | 蒸着装置 (6,894) | 蒸発材、蒸発物質 (2,872) | 形状 (495) | 線、フィラメント (21)

Fターム[4K029DB09]に分類される特許

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【課題】電気抵抗の低温側極大現象を抑制したセラミックス焼結体を提供する。熱衝撃性と耐食性に優れた長寿命のボートを提供する。
【解決手段】TiBを40〜60質量%、BNを40〜60質量%、並びに金属及び/又は金属化合物を金属分として0.2〜3質量%を含み、当該金属及び/又は金属化合物の金属がFe、V、Mn、Cu及びSiから選ばれた少なくとも一種であり、相対密度が90%以上であるセラミックス焼結体。ストロンチウム及び/又はストロンチウム化合物をSr分として0.2〜7.5質量%を更に含有させてなる上記セラミックス焼結体。これらのセラミックス焼結体で構成された金属蒸発用発熱体(ボート)。 (もっと読む)


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