【課題】反応容器内を過熱蒸気で充満させる時間の短縮化を図りながら、反応容器内を良好に均温化させることができる加熱処理装置を提供すること。
【解決手段】横倒し円筒状の形態を成し、供給口２１１を通じて内部に供給された被処理物を過熱蒸気供給手段３０より供給された過熱蒸気により加熱処理させ、この加熱処理により生じた排気ガス及び固形物を排気口２２１及び排出口２２２よりそれぞれ排出する反応容器２０を備えた加熱処理装置１０において、過熱蒸気供給手段３０は、反応容器２０の軸方向に沿って延在する過熱蒸気分散配管３１と、過熱蒸気分散配管３１に反応容器２０の軸方向に沿って所定の間隔毎に配設され、過熱蒸気分散配管３１の内部の過熱蒸気を反応容器２０内に噴出させる過熱蒸気噴出配管３２とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 孔の内面を含めた洗浄対象物表面に付着した微少な異物を全て除去することができると共に、装置のコンパクト化と設備費及びランニングコストの低減化が可能な洗浄方法及び洗浄装置の提供。
【解決手段】 液体Ｗを収容した非磁性体容器１の外周に巻回した誘導コイル２に高周波電流を流して非磁性体容器１の液体Ｗ内に収容させた洗浄対象物Ｋを誘導加熱することにより、洗浄対象物Ｋの表面全体から前記液体の蒸気気泡、或いは前記液体の一部の成分の蒸気気泡を発生させ、該蒸気気泡により孔の内面を含めた洗浄対象物Ｋの表面に付着した１０００ミクロン以下の微少な異物を全て剥離除去する。 （もっと読む）