【課題】液晶ディスプレイに用いるカラーフィルタ等のように周期パターンを持つ部品に対し、数値的一定基準にてムラ欠陥を検査できるようにすることを課題とする。
【解決手段】部品の画像輝度データから、画像輝度分布データを作成することによって画像輝度データを規格化し、規格化された画像輝度データが、1つのしきい値よりも小さいか又はもう１つのしきい値よりも大きいところをムラ欠陥候補部とし、隣接するムラ欠陥候補部を１つのムラ欠陥候補領域として面積と平均輝度値を算出し、ムラ欠陥候補領域の周辺部をムラ欠陥候補周辺部として平均輝度値を算出し、ムラ欠陥候補領域の面積の大きさ、及びムラ欠陥候補領域とムラ欠陥候補周辺部の平均輝度値の差の大きさから、ムラ欠陥部を検出する。 （もっと読む）