【課題】 ＰＤＰの製造装置において、真空排気後放電ガスを封入する際、配管内の残留不純物成分がパネル内に再導入されてしまうため、パネルの放電特性にバラツキが生じてしまう。
【解決手段】 ベーキング炉７外の配管内壁にある残留不純物成分を冷却トラップで補足したり、放電ガス導入時にベーキング炉外の配管部分をベーキング炉内のバルブにより放電ガス導入配管経路と分離することにより、残留不純物成分の再導入を防止する。
【効果】 本発明によれば、不純物成分の影響が出ないため、パネル放電特性のバラツキを減少させ、放電効率の良いＰＤＰおよびＰＤＰ製造装置を実現できる。 （もっと読む）