【課題】電子ビーム装置の保守が容易で、連続排気用の真空ポンプを作動させないで真空チャンバ内の真空度を上げる電子加速方法を提供する。
【解決手段】電子ビーム放射窓２４を清浄な空気環境に制御された場所内で真空チャンバ４６に気密にろう付け、溶接または接着結合して密封して連続排気用の真空ポンプを作動させないで持続的に真空を維持する真空チャンバ４６を設け、真空チャンバ内に配置した電子発生器３１で電子を発生し、電子発生器をハウジング３０により囲み、このハウジングは、電子発生器と電子ビーム放射窓間に開口が形成され、ハウジングと電子ビーム放射窓２４間に電圧が供給されたときに、電子を電子発生器３１から電子ビームにして電子ビーム放射窓２４の外に加速し、真空チャンバ内の分子をイオン化し、真空チャンバ内にイオン化された分子を捕獲して真空チャンバ内の真空度を上げる電子加速方法。 （もっと読む）

【課題】
高電圧接続部の絶縁不良を抑制し、信頼性の高い電子銃を提供する。
【解決手段】
接続ブッシング１１の絶縁性樹脂２５の外側に密着して、導体シールド２７を設けることによって、電界集中を緩和することができる。この導体シールド２７により、受電部金属部２３と接続ブッシング１１との電位差を等しくすることができる。さらに、この導体シールド２７を受電部接合部２６より受電側フランジ端子２２側、すなわち受電部碍子部２４に対向する位置まで伸ばすことにより、受電部接合部２６の電界集中を著しく緩和することができる。
【効果】
高電圧接続部の空間への電界集中を防ぎ、放電を抑制することができるため、沿面を広げたり、フッ素を主成分とする絶縁性液体や絶縁性ガスを充填しない場合でも、絶縁耐力を保持することができる。 （もっと読む）

【課題】熱電子放出型電子銃の外形寸法を大きくすることなく放熱や伝熱による熱損失を低減して、電子銃全体の系の熱的安定性を保つ。また、フィラメント電流を低減してフィラメント寿命の短命化を抑制し、フィラメント寿命を延ばす。
【解決手段】熱電子放出型電子銃の各部分の表面に断熱塗料を塗布し、この断熱塗料層によって外部との間の熱伝達を低減する。断熱塗料層は、熱電子放出型電子銃の各部分に設けることができ、例えば、熱電子放出型電子銃を構成する外筒部の大気側、磁気シールド部材の片面あるいは両面、排気管の大気側等の設ける他に、熱伝達経路となる部材の一部あるいは全部とすることができる。この断熱塗料を塗布することで、各外筒部からの放熱、磁気シールド部材からの放熱および加熱、外部との間に熱の出入りを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 高電圧部の隔離とイオン加速部のＸ線遮蔽を可能にすると同時にプラズマ発生部のメンテナンスが容易になる荷電粒子ビーム発生及び加速装置を提供する。
【解決手段】 プラズマ発生手段１と、その出口側に設けられた荷電粒子ビーム引き出し手段２と、その下流側に設けられた荷電粒子ビーム加速手段３と、プラズマ発生手段１へプラズマ発生に必要な電流、電圧、ガスなどを導入する導入手段１０と、プラズマ発生手段１と荷電粒子ビーム引き出し手段２と荷電粒子ビーム加速手段３と導入手段１０とからなる高電圧部を囲むように設置された接地カーバを備え、接地カーバは所定壁厚を有し、荷電粒子ビーム加速手段３を覆う第一接地カーバ７と、第一接地カーバ７に対して脱着可能に設けられ、プラズマ発生手段１を覆うと共に第一接地カーバ７より壁厚が薄くされた第二接地カーバ８とから構成される。 （もっと読む）