【課題】本発明は、上記課題に鑑み、広い領域で高精細な加工ピッチを実現し、広い領域を高精度に観察を行うことができる荷電粒子線装置及び加工・観察方法を提供することを目的とする。
【解決手段】偏向量の緻密な高精細スキャンと偏向量の大きなイメージシフトという２種類以上のＦＩＢ偏向制御を同期させ、従来よりも広い領域を高密度でスキャンする。また、ＦＩＢのイメージシフトを用いて加工された位置にＳＥＭのイメージシフトを追従させる。作製した一つの断面に対し複数枚のＳＥＭ像を取得し、それをつなぎ合わせることによって高精細な画像を作成する。本発明により、従来よりも広い領域を高精細スキャンで加工し、高精細な三次元構築用データを取得することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】傾斜した試料の表面をチルトビームおよび左右視差角像で、焦点を連続的に補正しながら観察する際に、発生する視野ずれを抑制することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 試料１０表面に一次荷電粒子線の焦点を結ばせる対物レンズ７と一次荷電粒子線をチルトさせる傾斜角制御用偏向器５３の中間に、視野補正用アライナー５４を設置し、傾斜角制御用偏向器５３のチルト角、レンズ条件、対物レンズ７と試料１０までの距離からもとまる補正量にて、一次荷電粒子線のチルト時に発生する視野ずれを、対物レンズ７の焦点補正に連動して補正する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、荷電粒子線装置において、左右の視差画像を上方向からだけでなく、斜め方向から取得する取得手段を提供することにある。また、立体観察方法を切り替えることのできる視差画像表示手段及び操作画面を提供することにある。
【解決手段】本発明は、荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出される一次荷電粒子線を集束する対物レンズと、前記一次荷電粒子線を試料上で走査する走査偏向器と、前記一次荷電粒子線の走査によって試料から発生する信号粒子を検出する検出器と、前記検出器の信号粒子を用いて試料像を取得する荷電粒子線装置において、前記一次荷電粒子線の試料への照射角を偏向する偏向器と、当該偏向器に電流を流す独立した第一及び第二の電源を備え、前記一次荷電粒子線の走査の一ライン単位又は一フレーム単位で、当該２つの電源から印加する電圧を切り替えるスイッチを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料計測において観察方向を正確に推定し、より正確で再現性ある形状計測を行う方法の提供。
【解決手段】形状既知の試料に収束電子線を照射し、前記試料表面から放出される電子を検出し、前記検出した電子の強度を画像化した画像を用い、前記形状既知の試料の画像上での幾何学的な変形をもとに収束電子線の入射方向を推定し、この推定した集束電子線の入射方向の情報を用いて観察対象試料のＳＥＭ画像から観察対象試料の３次元形状又は断面形状を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】
調整が容易で、高速かつ再現性のある低コストな傾斜観察方法、観察装置を提供する。
【解決手段】
標準試料の真上から撮影した画像（step４）と、傾斜ビームで撮影した画像（step６）から、ビーム傾斜時の走査スポットのボケを抽出し、目的とする試料の傾斜画像（step１０）を、抽出した傾斜時のスポットでデコンボリューション（step１１、１２）することにより、試料の高分解能傾斜画像を得る。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、微小試料の傾斜シリーズ像を短時間で取得することに関する。
【解決手段】
本発明は、傾斜シリーズ像を取得する際の焦点ずれ量と一致度の関係をあらかじめ計測しておき、その関係に基づき一致度から焦点ずれを逆算して、ステージや対物レンズ等を制御して焦点ずれを補正し、傾斜シリーズ像を取得することに関する。また、本発明は、傾斜シリーズ像を撮影する際に参照画像をあらかじめ取得しておき、取得された画像と参照画像との相関を取り、一致度が設定値以下であった場合に、警告メッセージの発信や、画像取得シーケンスの停止、等の処理を実施することに関する。本発明により、傾斜シリーズ像を撮影する際の焦点合わせを高速に行うことが可能となり、傾斜シリーズ像の撮影時間を短縮できる。また、三次元再構築に適さない画像を排除することができる。これにより、半導体や先端材料の不良解析等のスループットを上げることができる。 （もっと読む）

【課題】左右視差角分のビーム傾斜により得られる画像から立体画像（ステレオ画像）を構築する走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
試料に入射する荷電粒子線を左右視差角分に相当する傾斜角に設定する。この構成に、1ライン単位で視差角分のビーム傾斜走査を実行する制御部を設けて、左右の傾斜ビームで試料上を走査し、画像を取得する。また、レンズの振り戻し作用を利用した複数段レンズの光学系で総合的に相殺させる手段と、視差角ビーム制御を組合せることにより、分解能劣化を抑えた立体画像を実時間(リアルタイム)に表示する。 （もっと読む）

【課題】断面および観察対象断面が所定位置に配置された複数の断面像を取得することが可能な、画像取得方法を提供する。
【解決手段】断面像撮影工程（Ｓ５２）の前に、観察対象断面以外の領域をＥＢ走査してリファレンスマーク画像を撮影するマーク画像撮影工程（Ｓ４２）と、撮影されたリファレンスマーク画像をリファレンスマーク基準画像と比較して、所定時点に対する現在のＳＥＭドリフト量を算出するドリフト量算出工程（Ｓ４４）と、所定時点に対する現在の観察対象断面のオフセット量を算出するオフセット量算出工程（Ｓ４６）とを有し、断面像撮影工程（Ｓ５２）では、所定時点におけるＥＢ走査領域をＳＥＭドリフト量およびオフセット量に基づいて補正し、断面像を撮影する構成とした。 （もっと読む）

【課題】
試料の垂直方向に対して傾斜させた電子ビームを試料に照射して二次元像を得るときに、試料の上下振動が原因で検査時間が長くなることを防止できる走査形電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
走査形電子顕微鏡は、試料ステージの高さ変位量を測定する高さ測定手段と、この変位量と電子ビームの傾斜角とから電子ビームの試料に対する照射位置の変位量を算出し、電子ビームの制御信号を送信するマイクロプロセッサと、マイクロプロセッサからの制御信号に基づいて、ビーム偏向手段により電子ビームの水平方向の照射位置を補正するビーム位置補正手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料に対してビームを傾斜しても分解能低下の少ない荷電粒子線装置を提供する
。
【解決手段】複数のレンズ６，７に対して一次ビーム４の軌道を偏向器、或いは可動絞り
によって、軸外に通し、その軸外軌道を制御することにより、ビーム傾斜時に対物レンズ
７で発生する収差を他のレンズ６の収差でキャンセルする手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】 試料検査のための装置及びコラムを提供する。
【解決手段】 本装置は、異なる視角で作られる１つ以上の試料画像を提供することにより、単一のヘン面的な試料画像の場合と比較して、試料についての大量の付加情報にアクセスすることを可能にする。２つの画像の間のビームを傾斜させ新しい位置に試料を移動することにより、視角（入射角）を変え、これにより、ビームの傾斜に起因するビームの変位が補正されるようになる。したがって、ビームは、第１の画像を表示／記録しつつ走査したと同じ領域を、第２の画像を表示／記録しつつ基本的に走査する。 （もっと読む）