Fターム[5C033QQ10]の内容
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Fターム[5C033QQ10]に分類される特許
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中エネルギーイオンビーム散乱を用いた分光分析器
【課題】中エネルギーイオンビーム散乱を用いた分光分析器を提供する。
【解決手段】本発明による中エネルギーイオンビーム散乱を用いた分光分析器は、イオンを発生させるイオン源10と、イオンを平行ビームとするコリメータ(collimator)20と、平行ビームを加速する加速器30と、加速されたイオンビームをパルス化するイオンビームパルス発生器40と、パルス化されたイオンビームを試片1に集束させる集束対物レンズ50と、集束されたイオンビームが試片1で散乱されたイオンビームパルスの分光信号を検出する検出器60と、検出器60により検出された分光信号を分析処理するデータ分析器70と、を含んで構成されることを特徴とする。
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