Fターム[5C033RR01]の内容
Fターム[5C033RR01]の下位に属するFターム
電子ビーム (4)
Fターム[5C033RR01]に分類される特許
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低エネルギーイオン照射による導電体試料中の元素分析・評価方法とその装置
【課題】 高額・大型の設備が必要なく、小型、低コストの設備で絶縁された導電体試料の分析・評価を高感度・高精度に行うことができる新規な元素分析・評価方法とその装置を提供する。
【解決手段】 2から100keVの低エネルギーを有する正イオンを、軽元素及び重元素の少なくともいずれかの元素を含む絶縁された導電体試料3へ照射することにより、導電体試料3中に含まれる軽元素又は重元素から4keV以下の低エネルギー特性X線を発生させ、発生した特性X線を検出することにより導電体試料3中に含まれる軽元素又は重元素の分析・評価を行うこととする。
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表面分析方法及び表面分析装置
【課題】 表面分析方法及び表面分析装置に関し、補正用の荷電粒子に起因する熱的ダメージを緩和させて本来の試料の素性を反映する分析結果を得る。
【解決手段】 絶縁性或いは半導電性の試料1に一次エネルギー粒子2を照射するとともに、一次エネルギー粒子2の照射或いは二次荷電粒子3の発生に伴う試料1の帯電を、帯電の極性と反対の極性の荷電粒子を照射して補正する際に、試料1が所定温度以下になるように補正用の荷電粒子4の量、エネルギー、或いは、収束度の少なくとも一つを制御する。
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