【課題】 超高真空を保持することが必要な空間に容易かつ簡単に取り付けることができるスパッタイオンポンプを提供すること。
【解決手段】 外周側を広幅、内周側を狭幅とした楔形の３個の凸部２ｆを１２０度間隔に配置した輪郭形状の壁によって画成され、底面が開口された本体２と、その内壁に同一形状に形成されたカソード電極３と、カソード電極３内に配置され、両端の開口がそれぞれカソード電極３の面に平行に切断された輪切りパイプ体４ｂとされ、その内周側がカソード電極３の内周側とほぼ同一の円周上にあるアノード電極４と、円周内の中心部に天井面側から垂下されアノード電極４の引出部と取付部とを兼ねる支持棒７と、凸部２ｆの外側の間に形成される凹部に接して設置された横断面がほぼ扇形で柱状の３本の磁石８とからなり、磁石８のＳ極が隣り合う磁石８のＮ極と対向して配置されているスパッタイオンポンプ。 （もっと読む）

【課題】小型で排気効率が高く、磁界シールド特性の向上したスパッタイオンポンプおよびスパッタイオンポンプを備えた画像表示装置を提供する。
【解決手段】ＳＩＰ５０は、ポンプ容器５１と、永久磁石５４と、第２陰極５５ｂと、陽極５６と、磁性体５９と、ポンプ容器に形成された開口部５２と、給電端子５７ａと、絶縁体５３と、を備えている。
給電端子５７ａは陽極５６に接続されているとともに開口部５２に挿通されている。絶縁体５３は開口部５２に充填され、給電端子５７ａを囲んでいるとともに開口部を気密に封止している。 （もっと読む）