【課題】 本発明は、イオン化スパッタ真空ポンプに関し、超高真空域から熱電子を導入して極高真空域での排気速度の低減を最小にすることを目的とする。
【解決手段】２ｎ個（ｎ＝１．２．３・・・）の平板マグネトロン型イオンポンプ素子を対向して配置し、その中間部分に配置した高周波コイルに高周波電力を供給して発生させた高周波電界によるイオンおよび電子の衝突確率を向上および誘電体のイオン化促進すると共に、その中間部分に円筒陽極を設けこれを臨む周辺に配置した熱電子供給源から熱電子を供給して超高・極超真空域における放電を継続させたイオン化スパッタ真空ポンプ。 （もっと読む）