ゲッターポンプ（１２０；２２０）及びイオンポンプ（１３０；２３０）を含む複合型ポンプシステムは、説明される。ゲッターポンプ及びイオンポンプ（１２０，１３０；２２０，２３０）は、システムの真空レベルを改善するために、ゲッター及びイオンポンプ双方の伝導率が真空チャンバーのガス流量の源に向かって最大化されることができるように、同じフランジ（１１１；２１１）に直列に取り付けられており、それぞれそれに関して両側に配置される。
（もっと読む）

複合排気システム（１０）は、ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）を具備する。ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）は、同じフランジ（１１）に取り付けられ、前記フランジ（１１）の同じ側の２つの異なる箇所に配置される。
（もっと読む）

【課題】チタン等のゲッター材を蒸発させても、蒸発したゲッター材が不必要な箇所に蒸着することを防止できるゲッターポンプ、減圧構造及び反応装置並びにそれらを用いた発電装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】基材２の上に絶縁膜３が形成され、絶縁膜３の上に温度センサ兼ヒータ８が葛折り状にパターニングされている。温度センサ兼ヒータ８は、下層から順に密着層４、拡散防止層５、電熱層６及び拡散防止兼密着層７を有し、温度センサ兼ヒータ８が層間絶縁膜９によって被覆されている。層間絶縁膜９の上に蒸発型のゲッター膜１０が成膜されており、ゲッター膜１０はカバー１２によって覆われている。カバー１２とゲッター膜１０との間には隙間１３があり、その隙間１３は開放されている。 （もっと読む）