【課題】高い検出精度及び微細加工を容易に実現可能な構造を有する光電子増倍管及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光電子増倍管1aは、内部が真空に維持された外囲器を備え、該外囲器内に、入射光に応じて電子を放出する光電面22と、該光電面22から放出される電子をカスケード増倍する電子増倍部31と、該電子増倍部31で生成された二次電子を取り出すための陽極32とが配置されている。上記外囲器の一部は、平坦部を有するガラス基板4により構成され、該ガラス基板4における平坦部上に、上記電子増倍部31及び陽極32のそれぞれが二次元的に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 応答時間特性の大幅な改善を大量生産可能な構造で実現する光電子増倍管を提供する。
【解決手段】 当該光電子増倍管は、密封容器(100)を備え、該密封容器(100)は、管軸(AX)に沿って伸びた中空胴体部(120)と、入射面板(110)を含む。入射面板(110)は、光入射面(110a)と、ホトカソード(200)が形成された光出射面(110b)を有する。特に、光出射面(110b)は、平坦領域(AR1)と、平坦領域(AR1)の周辺に位置し該光出射面(110b)のエッジ部を含む曲面加工領域（ＡＲ２）から構成される。このように、入射面板(110)の光出射面(110b)は、その周辺領域に位置するホトカソード(200)からの光電子の放出角度を調節するため、周辺領域の表面形状が意図的に変えられている。これにより、光電子の放出位置に依存することなく、ホトカソード(200)から第１ダイノード(DY1)へ向かう光電子の走行時間のバラツキが効果的に低減される。 （もっと読む）