【課題】生成されるイオンビームのエネルギーが即座に判り、かつ、レーザー照射を行いながら、リアルタイムでイオンビームの計測が可能なイオンビーム検出器を実現する。
【解決手段】本発明のイオンビーム検出器１は、イオン３に混在するＸ線を透過させ、かつイオン３を光に変換する光変換部７と、光変換部７にて変換されたイオン３由来の光を電気信号として検出する光検出部９と、イオン３が光変換部７に到達するまでの飛行時間を計測する飛行時間計測部１０とを有し、光変換部７がイオン３を受光する側に、イオン３に混在する電子を除去する電子除去部５と、イオン３に混在する光を遮光する遮光部６とを備えるとともに、光変換部７と光検出部９との間に、光変換部７に入射するイオン３の光軸に対し湾曲した湾曲部８が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）