本発明は、所定の方位角（α１，α２）を持ったアマグネティック(amagnetic)ヘッドギャップ（ｅ１，ｅ２）によってそれぞれ分離された極性部分の対（３０．１〜３０．４，３１．１〜３１．４）を備えた複数の磁気ヘッドを有し、磁気トラック（３６）を備えた磁気メディア（３５）を記録および／または読取するためのデバイスに関する。極性部分（３０．１〜３０．４，３１．１〜３１．４）の対は、複数の固定サポート（１００１、１００２）に分配され、特定のサポート上の極性部分の対のヘッドギャップはすべて同じ方位角を持つ。少なくとも２つのサポートは異なる方位角を持った極性部分の対を有し、それぞれのサポートは磁気トラック（３６）から所定の傾斜角（θ）を持つ。
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任意形状のギャップを備えた薄膜磁気記録ヘッドを製造するために、先ず、基板を製作する。この基板の製作は、薄膜ヘッドを製作するための在来のウェハー加工技法であるバーチカル・プレーナ・プロセスを用いて行い、これは、集積型サブギャップ／サブ磁極構造体を構成するプロセスである。続いて、その基板即ちウェハーを切り分けて複数のロウ・バーにする。こうして製作したロウ・バーは、そのロウ・バーの、記録媒体が磁気−電気変換作用を発生する際の走行方向に対して平行な位置付けられる表面に、サブギャップ及びサブ磁極が露出している。続いて、その構造体即ちロウ・バーに加工処理を施して、そのコイル深さないしギャップ深さを所定寸法に仕上げる。その表面の形状は平面形状とすることもあり、円筒面形状とすることもある。薄膜でサブギャップが形成されているこのロウ・バーに対して、続いて、成膜工程を実行し、そのロウ・バーの、ウェハー主面に直交する表面に、磁性体薄膜を成膜する。この工程はホリゾンタル・プレーナ・プロセスであり、これによって表面薄膜記録ヘッドの一対のサブ磁極の間に任意形状のギャップ構造体を形成することができ、この任意形状のギャップ構造体は通常、サブギャップの真上に形成される。この磁性体薄膜即ち表面薄膜は、ヘッドのテープ担持面上に成膜されてパターニングが施されるものであり、これによって様々なエレメントの配置形態と、ギャップ・パターンと、ヘッドとテープ媒体との接触状態とを、最適なものとすることができる。任意形状のギャップを備えた薄膜磁気記録ヘッドを製造するために、互いに直交する２つの薄膜加工主面を利用するようにしており、それらのうち第１加工主面はウェハー・レベルのプロセスを実行する加工主面であり、第２加工主面はサブウェハー・レベルのプロセスを実行する加工主面であって第１加工主面に直交している。また、第１加工主面は磁気的にアクティブな基板を画成するための加工主面であり、この基板は、コイル、サブギャップ、及びサブ磁極部材を含むものである。第２加工主面は表面薄膜を画成するための加工主面であり、磁束はこの表面薄膜を通って、サブ磁極からこの表面薄膜に形成されているギャップ部へ伝達される。以上によって、記録ヘッドとして機能する構造体が得られ、この記録ヘッドをサーボ系の電子回路に接続して、任意形状のギャップ・パターンによって磁気テープをフォーマットする。 （もっと読む）