【課題】光ディスク等の情報記録媒体の製造に使用するスタンパにおいて、どのような物理形状の影響がディスクドライブでの記録再生時に支配的であるか十分把握できているとはいえない。また、スタンパの凹凸やうねり等は、裏面研磨が主要因のひとつであるが、研磨の途中で抜き取り、物理形状を測定するのが煩雑であるため、スタンパの凹凸やうねり等の時間変化やメカニズムが把握されてない。
【解決手段】スタンパ裏面の高さを測定する第一の変位センサと、第一の変位センサよりもビーム径が小さく、スタンパ表面の高さを測定する第二の変位センサとを、スタンパの厚さ方向に、スタンパに対して対称となるように配置する。 （もっと読む）

【課題】 パターニングするレジスト材料と原盤または原盤上に設けられた下地層との密着性を改善できる光ディスク原盤およびその製造方法並びに光ディスクスタンパの製造方法を提供する。
【解決手段】 低感度のポジ型レジスト材料からなる中間層３をレジスト層４と原盤１間またはレジスト層４と下地層２間に挿入することで、露光時にレジスト材料と原盤１間またはレジスト材料と下地層２間との界面に応力を入れないようにし、パターン形成されたネガ型レジスト材料との原盤１または下地層２との密着性を確保できる。 （もっと読む）