Fターム[5D121GG01]の内容
Fターム[5D121GG01]の下位に属するFターム
エネルギー線照射 (389)
プラズマ処理 (14)
エッチング(スパッタエッチング、プラズマエッチング等) (50)
イオン注入 (4)
Fターム[5D121GG01]に分類される特許
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高品質円盤状媒体
【課題】 円盤状プラスチック媒体を製造する際に、微小凹凸形状を有する硬化性樹脂の厚みを均一化すること、およびプラスチック基材接液時の気泡の巻き込みを発生させないこと。
【解決手段】 微細凹凸形状のエリアを有し、2種類の材料(プラスチック基板、硬化性樹脂)から構成されている円盤状プラスチック媒体であって、前記プラスチック基板、硬化性樹脂、該微細凹凸形状のエリアそれぞれの最内周が同心円状に配置されていることを特徴とする円盤状プラスチック媒体。
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貼合装置及び貼合方法
【課題】 先付きを防止して貼合対象物間の空気を逃がしながら効率良く貼合を行うことができ、減圧雰囲気に保つ装置等を不要とすることのできる貼合装置及び貼合方法を提供すること。
【解決手段】 ディスク基板11を支持する第1の支持装置12と、スタンパ13を支持する第2の支持装置14と、ディスク基板11とスタンパ13に押圧力を付与する押圧部材15と、スタンパ13の外周部分に当接し、未貼付部を浮かせた姿勢を維持する先付防止部材17とを備え、そのような姿勢に保たれたスタンパ13を押圧部材15で押圧することにより、ディスク基板上にスタンパが貼合される。
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光記録媒体の製造方法及びその装置
【課題】 光記録媒体(光ディスク)に色素をスピンコーティングするに際し、少量の色素塗布液であっても確実に基板に塗り着くことのできる高塗りつき性の塗布方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 色素塗布液を被塗布基板の塗布面に吐出する吐出ノズルと、被塗布基板を載置するテーブルとを備えた光記録媒体の製造装置において、吐出ノズルに0.5kV〜5.0kVの範囲内の所定電位が印加され、テーブルがアースされ、基板表面へイオン風を吹き付けるイオン風発生器を備えて、吐出ノズルから吐出する色素塗布液を帯電させるようにした。
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貼り合せ装置,貼り合せ方法及び光ディスクの製造装置
【課題】 製造ラインにおいて確実に静電気を除去することができる貼り合せ装置及び貼り合せ方法を提供する。
【解決手段】 薄膜状のカバー層を基板に貼り合せた後、支持台に支持された基板を旋回アームによって把持し、基板を支持台から離間させた状態で、該基板に除電処理を行う除電装置とを備えている
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