【課題】加工時や廃棄時に環境負荷が少なく、かつ安価に製造できる光記録媒体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光記録媒体の表面保護層１０は、水素原子の一部又は全部がフッ素原子及びフッ化炭素基１４のいずれか一方又は双方で置換された炭化水素基１１を透明樹脂製の表面保護層１２の光入射面側表面に有する。光記録媒体は、フッ化炭素基を含む化合物のガス雰囲気中で、少なくとも光入射面側表面に炭化水素基を有する表面保護層１２の光入射面側表面を低圧プラズマ処理することにより製造される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で処理空間内のガス圧力（濃度）分布を制御できる真空処理装置及び真空処理方法を提供する。
【解決手段】減圧雰囲気を維持可能であり、減圧雰囲気中で被処理体３に対しての処理が行われる処理空間１０を内部に有する真空槽１と、真空槽１の壁部１ａを貫通して処理空間１０に通じるガス導入路４と、を備えた真空処理装置であって、ガス導入路４から処理空間１０内へのガス吹き出し方向が、ガス導入路４が設けられた部分近傍の真空槽１内壁面に対して平行もしくは傾いている。 （もっと読む）

【課題】無機レジスト層の凹凸パターン上に導電層を形成することなく、電鋳を施し、剥離性や転写性の良い光ディスク用スタンパの製造方法を提供する。
【解決手段】光ディスク用スタンパの製造方法において、水素元素よりもイオン化エネルギーの大きな元素を含む基板１０の表面に無機レジスト層１１を形成すると共にこの無機レジスト層１１中に基板１０から上記元素を拡散させ、無機レジスト層１１を部分的に除去して所定形状の凹凸パターンを有する光ディスク原盤を作製し、この凹凸パターンにオゾン処理を行い、さらにこの凹凸パターン上に金属層１６を形成し、この金属層１６を凹凸パターンから剥離してスタンパを形成する。 （もっと読む）

【課題】従来の無機レジストを用いたスタンパは、その側面部に支持基材が露出していた。このようなスタンパを用いて２Ｐ法により基板等の成形を行うと、スタンパの側面部に露出した支持基材と成形時にはみ出した硬化性樹脂が密着し、スタンパの側面部に残渣が生じてしまうという問題があった。本発明の目的は、支持基材と無機レジストからなるスタンパを用いて基板成形を行った場合でも、硬化性樹脂の残渣を生じないスタンパを提供することにある。
【解決手段】本発明に係る透光性スタンパは、光記録媒体の情報パターンを硬化性樹脂を用いて形成する際に用いられる透光性スタンパであって、該透光性スタンパは、透光性支持基材と情報パターンに対応した凹凸パターンが形成された透光性無機レジスト層を有し、前記透光性スタンパの側面部に、前記硬化性樹脂との剥離性が前記透光性支持基材よりも優れる剥離層が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２種以上の微細な凹凸形状を有する光情報記録媒体用スタンパ原版およびスタンパを製造する。
【解決手段】シリコンウエハ５１にレジスト層５２を形成し、レジスト層５２に対して電子線を照射して所定のパターンを描画し、レジスト層５２を現像して電子線が照射された部分を除去し、現像により露出したシリコンウエハ５１の表面に対し、リアクティブイオンエッチングを行いシリコンウエハ５１の表面に深さ６０ｎｍ以下かつ深さの異なる２種以上の凹凸形状を形成する。 （もっと読む）

【課題】高精度な凹凸パターンを有するスタンパーを大量に製造し得るスタンパー修復方法を提供する。
【解決手段】マザースタンパー１における凹凸パターン５の形成面に導電性薄膜を形成する薄膜形成処理と、形成面に剥離層１２を形成する剥離層形成処理とをこの順で実行しててマザースタンパー１を修復する。この場合、上記の剥離層形成処理として、導電性薄膜の表面を改質する改質処理を実行して剥離層１２を形成する、または、導電性薄膜の上に剥離層形成用材料からなる層を剥離層１２として形成する。また、マザースタンパー１における凹凸パターン５の形成面に剥離層形成用材料からなりマザースタンパー１の減耗分の厚みの剥離層を形成する剥離層形成処理を実行してマザースタンパー１を修復する。 （もっと読む）

【課題】
エステル交換法ポリカーボネート樹脂からなる光記録媒体基板の製造方法において、この基板上に設ける記録層、とりわけ追記型光記録媒体の記録層である色素層を設ける際の塗布不良を抑制した、光記録媒体基板の製造方法、及び追記型光記録媒体の製造方法を提供すること。
【解決手段】
芳香族ジヒドロキシ化合物と炭酸ジエステルとからエステル交換法によって得られる、粘度平均分子量２５０００以下の芳香族ポリカーボネート樹脂を成形してなる光記録媒体基板用樹脂成形体を、プラスイオン及びマイナスイオンを周期的に交互に発生させる電極針部を有するイオン発生器より発生した、プラスイオン及びマイナスイオンと接触させることを特徴とする、光記録媒体基板の製造方法、及びこれにより得られた光記録媒体基板上に情報記録層を設けることを特徴とする、光記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】読取面がフッ素コーティングされた光ディスクを効率的に生産する。
【解決手段】読取面１０４を上にして光ディスクＤを給材位置１２から除材位置１３に搬送するローラコンベア１４と、ローラコンベア１４に臨み、読取面１０４にフッ素コーティングを行う大気圧プラズマ処理手段１５とを備え、プラズマ処理手段１５の下部電極３３は、ローラコンベア１４の搬送ローラ２６間に配設されている。 （もっと読む）

【課題】 表面保護膜として各種用途に有用な表面エネルギーが低く、離型性、摺動性に優れ、かつ硬度の高いダイヤモンドライクカーボン薄膜を大面積に均一な膜厚で効率よく製造する方法を提供する。
【解決手段】 フッ素化炭化水素化合物を含むガスを、イオン化電流によりプラズマ化し、それにより生じた各イオンを、被成膜部材上に吸引衝突、付着させて、フッ素化ダイヤモンドライクカーボン薄膜を形成させることを特徴とするフッ素化ダイヤモンドライクカーボン薄膜の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】精度の良い矩形状の凹凸部を有するスタンパの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上に自己組織化単分子膜２、熱感応性無機物質膜３を順次積層した後、露光及びアルカリ溶液を用いて現像を行って熱感応性無機物質膜３に開口部４を形成し、次に、熱感応性無機物質膜３上から真空紫外線を照射した後、現像を行って開口部４から露出した自己組織化単分子膜２に凹部５を形成し、次に、電鋳法によりニッケルを電鋳してスタンパ６を作製する際、熱感応性無機物質膜３は、酸化テルルと酸化モリブデンの混合物からなり、酸化テルルと酸化モリブデンの合計量に対する酸化モリブデンの割合は２０〜３０％、アルカリ溶液中の水素イオン濃度は、８〜９かつ真空紫外線の照射エネルギーは５００ｍＪ〜８００ｍＪである。 （もっと読む）

本発明は、高密度凹凸構造を複製するスタンパの製造方法に関する。当該方法は、基板層(12)及び該基板層の上に設けられる記録用積層体を有するマスター基板を供する工程であって、前記記録用積層体はマスク層(14)及び該マスク層と前記基板層との間の界面層(16)を有し、かつ前記マスク層は相変化材料を有する工程、前記マスク層の選択領域(20)にレーザービームを投射することで、熱関連相変化を誘起して化学物質に対して前記選択領域の特性を変化させる工程、前記マスク層に化学物質を用いて前記マスク層の選択領域を除去することで、前記界面層の領域(22)を曝露する工程、並びに前記記録用積層体をプラズマエッチングすることで、前記界面層の曝露領域にピット(24)を形成する工程を有する。本発明はさらにスタンパ及び光ディスクに関する。

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【課題】 光情報記録媒体製造用原盤の製造方法において、レジスト収縮の問題なく、溝及びピットのエッジ及び側壁荒れの平滑化を行い、高記録品質の光情報媒体基板製造用原盤得ることを目的とする。
【解決手段】 光情報記録媒体製造用原盤の製造方法であって、原盤上にレジスト膜を形成する工程と、レジスト膜を露光する工程と、レジスト膜を現像する工程と、現像されたレジスト膜をプラズマに曝してレジスト表面の微小凹凸を平滑化する工程とを有する事を特徴とする光情報記録媒体製造用原盤の製造方法を主たる構成にする。 （もっと読む）

【課題】 低コストかつ簡易なプロセスにて、媒体表面に撥水性および撥油性を与えるハードコート表面の処理方法、撥水撥油性を有するハードコート表面および表面に撥水撥油性を有する光ディスクを提供する。
【解決手段】 フッ化炭化水素系のガスをプラズマ化した雰囲気中で、有機材料からなる基板表面にリアクティブ・イオン・エッチング等を施す。リアクティブ・イオン・エッチングは、反応室内でエッチングガスをプラズマ化し、同時に試料に高周波を印加することにより、試料とプラズマの間に自己バイアス電位が生じ、プラズマ中のイオン種が試料方向に加速されて衝突する。その際、イオンによるスパッタリングと、エッチングガスの化学反応が同時に起こり、高い精度でのエッチングを行うことができる。これにより、基板最表面にフッ素原子またはフッ素を含む原子団を導入する。 （もっと読む）

本発明は、光学ビームを用いて読み出される情報を有する光学式情報担体に係る。本発明は、より高いコントラストを有する情報担体を与えることを目的とする。この目的は、５０μｍ又はそれ以下の幅を有するキャビティと、該キャビティ間のランドとを有する少なくとも１つの情報層を有する情報担体によって達成される。該キャビティは、深さより小さい幅と、光学ビームによって刺激される際に光学信号を示すよう適合されたランド上に蒸着された光学活性材料とを有する。
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