Fターム[5F031HA13]の内容
ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 処理時の固着、保持 (16,861) | ステージ、チャック、サセプタ (15,090) | 固着・保持機構 (3,822) | 真空吸着 (1,492)
Fターム[5F031HA13]の下位に属するFターム
吸着孔・溝の配置、構造 (310)
Fターム[5F031HA13]に分類される特許
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アライメントの製造方法
【課題】ガラス基板とメタルマスクとを貼り合せることにより貼り合わせ精度の向上を図ること。
【解決手段】ガラス基板を介してメタルマスクを所定の隙間を有して重ねる第1のステップS101と、カメラにより第1及び第2のマークの撮像情報に基づいて第1と第2のマークとの位置の差を求め、差が所定の範囲内か否かを判断する第2のステップS103と、前記差が範囲外の場合、前記位置の差に基づいてガラス基板をX,Y軸方向に移動させる第3のステップS105と、前記差が範囲内の場合、メタルマスクとガラス基板とを貼り合せる第4のステップS107と、第2のステップS103を実行する第5のステップS109と、第5のステップS109での前記差が範囲外の場合、メタルマスクとガラス基板とを分離する第6のステップS111とを備えたものである。
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半導体装置、半導体装置の製造方法及び試験方法
【課題】本発明は、複数の半導体素子が連なった状態で封止され、画像認識により位置決めされて試験に供される半導体装置、半導体装置の試験製造方法及び半導体装置の試験方法に関し、既存のウェーハプローバで認識可能なアライメントマークを容易に形成することを課題とする。
【解決手段】 半導体チップ14の電極を所定の位置に配置された電極パッドに接続するための再配線層18を半導体チップ14上に形成する。ハンダボール22が形成されるメタルポスト16を再配線層の電極パッド上に形成する。再配線18上に、メタルポスト16と所定の位置関係で配置されたアライメントマークを提供するマーク部材24を形成する。マーク部材24はメタルポスト16と同じ材質で形成される。
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