【課題】膜厚の大きい高品位のシリコン膜及びそれを形成するための簡易な方法を提供すること。
【解決手段】シリコン膜は、複数形成されたドーム形状からなる部分を有することを特徴とする。
上記シリコン膜の形成方法は、シリコン前駆体又はシリコン前駆体を含有する溶液をパターン状に塗布し、次いで熱及び／又は光で処理する工程を含むものである。 （もっと読む）