再結晶化技術 (1,137) | 課題 (70)

歪、反り防止 (2)
汚染防止、基板表面の清浄化 (2)
付着力の強化（剥離防止）
単結晶化領域の拡大 (34)
局所冷却
放熱性
均一アニール (16)
平坦化 (2)
下層への熱影響・損傷回避 (3)
スループットの向上 (11)