【課題】迅速に偏向アンプの故障の有無を判断できる偏向アンプの評価方法と、この機能を備えた荷電粒子ビーム描画装置とを提供する。
【解決手段】描画装置１００は、第ｎ番目にショットする電子ビーム２００のオン状態を生成する信号が発せられてから、第（ｎ−１）番目にショットする電子ビーム２００のオン状態の電圧からオフ状態の電圧に切り替わるまでの遅延時間を設定する設定部１１４と、ブランキング偏向器２１２によりショット回数が所定値になるまで電子ビーム２００のオン状態とオフ状態とを交互に繰り返す間、成形偏向器２０５または副偏向器２０９により２種類の動作パターンが交互に繰り返されて偏向された電子ビーム２００のビーム電流を測定するファラデーカップ２１６とを有する。 （もっと読む）