【課題】放電発生の判定を正確に行い、電子銃の電極等の有する放電要因を効果的かつ効率的に除去できる電子銃のコンディショニング法および電子線描画装置が提供する。
【解決手段】電子線描画装置１には、電子銃１００と、電子銃１００の電極に電圧を供給する電圧供給部３と、電子銃１００の電極間のリーク電流を検出する電流検出部４と、リーク電流の検出データに基づき電圧供給部３を制御する制御部５が備えられる。制御部５内には、リーク電流の検出データを保存する電流保存部６が設けられる。そして、電子銃１００の電極に電圧供給部３から電圧を供給し、電流検出部４がリーク電流を検出し、制御部５が電流保存部６に保存された検出データをオフセットとして用いてリーク電流を評価し、電極間に印加する電圧を制御し、電子銃１００のコンディショニング処理を行うようにする。 （もっと読む）

【課題】試料の温度変化による描画精度の低下を抑制することのできる荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法を提供する。
【解決手段】電子ビーム描画装置は、マスク基板２を載置するステージ３を内蔵する描画室１と、ステージ３に載置されるマスク基板２に電子ビーム５４を照射するビーム照射手段１０と、マスク基板２の伸縮量を測定するレーザ干渉計と、伸縮量を補正量として電子ビーム５４の照射位置にフィードバックする補正処理部３１ａとを有する。マスク基板２の伸縮量は、そのＸ軸方向およびＹ軸方向の少なくとも一方について、端面のそれぞれを２点ずつ測定することが好ましい。 （もっと読む）

【目的】ＤＡ変換部の異常を検出可能な装置或いは方法を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の描画装置１００は、電子ビーム２００を静電偏向させる対物偏向器２０８と、電子ビーム２００を静電偏向させるためのデジタル信号を入力して第１のアナログ値に変換し、対物偏向器２０８に第１のアナログ値を増幅して第１の電圧値として出力するＤＡＣアンプユニット１６５と、上述したデジタル信号と同期してデジタル信号の正負を反転させた逆相信号を入力して第２のアナログ値に変換し、第２のアナログ値を増幅して第２の電圧値として出力するＤＡＣアンプユニット１６６と、第１の電圧値と第２の電圧値とを用いてＤＡＣアンプユニット１６５とＤＡＣアンプユニット１６６の少なくとも一方が異常であると判定する比較回路２７６と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、異常発生時にＤＡＣアンプユニットの異常を検出することができる。 （もっと読む）