【課題】 既存の座標測定装置と露光装置を用いて、短時間かつ高精度にマスク歪を測定する検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 パターン面と、支持体層と、サポート基板部と、を有するマスクにおけるパターン位置を検査する方法であって、前記サポート基板部の露光装置で保持される面の反対側を保持し、前記露光装置内における前記マスクとは重力の向きが逆となる状態で前記マスクを保持して位置測定を行うことにより第１の位置測定データを取得し、前記サポート基板部の露光装置で保持される面を保持し、前記露光装置内における前記マスクと重力の向きが同じとなる状態で前記マスクを保持して位置測定を行うことにより第２の位置測定データを取得し、前記第１の位置測定データと前記第２の位置測定データとを用いて、前記マスクのパターン位置の変形量を算出することを特徴とする荷電粒子線露光用マスクの検査方法を提供する。 （もっと読む）