【課題】 荷電粒子線照明装置において、容易に照明の一様性を調整する方法を提供する。
【解決手段】 アライナ１９Ａを用いて、荷電粒子線が開口絞り１４の中心を通るように調整した後、アライナ１９Ｂを調整して、照明一様性が最小（照明むらが最小）となる調整点を見つける。その後、再度アライナ１９Ａを用いて、荷電粒子線が開口絞り１４の中心を通るように調整した後、照明用レンズ１２Ｂを調整し、照明一様性が最小となる調整点を見つける。以上の動作を、照明一様性が仕様に入るか、繰り返し数が所定数になるまで繰り返す。 （もっと読む）

【課題】ＩＰ測定作業を自動で行うことができる転写マスク用ＩＰ測定装置を提供する。
【解決手段】転写用マスクとこれを保持するチャックとの２つを一体とした、あるは、前記２つとこれらを載置するためのアダプタとの３つを一体とした、一体部材８０の形態を維持しながら、全ての作業動作を行うもので、静電吸着用として、前記チャックへ所定の電圧を供給する電圧供給用の電源６０を設け、電源からチャックに電圧を供給する回路を、複数６１、６２、６３配し、各回路は、それぞれ、チャックが移動する全経路の一部で、チャックへの静電吸着用の電圧の供給を分担し、あわせて、全経路に渡り、チャックの静電吸着用の電圧を供給し続けるものである。 （もっと読む）