【課題】発振周波数を高くした場合でも、光学系の調整が容易で、かつ放電領域で発生する衝撃波の影響が小さいガス放電型レーザ装置を提供する。
【解決手段】それぞれレーザガスが封入された２つのチャンバ１００，２００と、チャンバ１００内に対向配置された第１の放電用の電極１０ａ，１０ｂと、チャンバ２００内にその第１の電極とほぼ同軸上に対向配置された第２の放電用の電極２０ａ，２０ｂと、その２対の電極を挟むように対向配置された出力ミラーＯＣ及び狭帯域化モジュールＬＮＭよりなるレーザ共振器と、その２対の電極を交互に放電させる放電回路部１，２とを備える。 （もっと読む）