【解決手段】 マイクロ波によってレーザガスを励起させてレーザ光Ｌを発振させるようにしたレーザ発振装置１は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管３と、フロントミラーとリヤミラーとから構成された共振器を有するレーザ発振器３１Ａ、３１Ｂと、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生器１５と、このマイクロ波発生器によって発生されたマイクロ波を上記放電管に導波する導波管１７とを備えている。上記導波管１７は、放電管３の外周面に螺旋状に配置してあり、この導波管に複数のスリットを設けてある。
【効果】 上記放電管３の外周面の略全体から放電管３の半径方向内方に向かってマイクロ波を放射して放電管３内に収容されるレーザガスを励起させることができるので、該レーザガスを効率的に励起することができる。 （もっと読む）

【課題】 放電電極の表面に微細な凹凸処理を施さず表面が平滑であっても、寄生発振を防止することができ、寄生発振によるレーザ出力の低下を抑制することが可能なガスレーザ発振器を得る。
【解決手段】 放電空間６を挟んで対向して配置される一対の共振器ミラー４，５の放電空間側に配置され発振領域を限定するアパーチャ１４，１５にて規定されるレーザ発振光軸１に対し、レーザ媒質ガスを放電励起する一対の放電電極２，３を、寄生発振が発生しないように所定の角度傾ける。 （もっと読む）

【課題】１パルスあたりの出力エネルギーを従来以上に増加させたとしても、レーザチャンバに設けられた光学素子の劣化を抑制することできるエキシマレーザ装置を提供する。
【解決手段】所望するレーザ出力以上の範囲内で、レーザチャンバに設けられた光学素子に照射するレーザビームのエネルギー密度を低下させるように、レーザビームの幅を広げる。 （もっと読む）

【課題】レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、２KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置を対象とし、主放電に伴って発じる音響波に因るレーザ性能への悪影響を低減させることの可能なレーザ装置の提供を目的とする。
【解決手段】レーザチャンバの内面に形成される隙間を挟んで隣り合う部位の、一方部位側の、前記レーザチャンバ中央側に面する面、および、他方部位側の、前記レーザチャンバ中央側に面する面のうち、前記放電空間から遠い側の前記面を前記放電空間に近い側の前記面より陥没させ、前記隙間を挟んで段差を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】必要ガス流速の増大及びファンへの投入電力の増大を抑え、４ｋＨｚ以上のさらなる高繰り返し動作と長時間使用を可能にした放電励起式パルス発振ガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】細長いアノードとカソードの放電面形状が、電極長手方向に直交する断面において凸面の曲線形状であり、接地電位の電極の幅Ｗｅと放電電極間の最小間隔ｇがｇ／Ｗｅ＞３の関係を有し、放電電極間へ４ＫＨｚ以上のパルス繰り返し数で、５０ｍＪ／ｃｍ³以上の密度の電力を供給する電源を備えており、放電面の凸面の曲線形状が、楕円、双曲線、又は、ｘ^N／（Ｗｅ／２）^N＋ｙ^N／ｈ^N＝１（ｈは電極曲線部高さ、ｘは電極の幅方向の位置座標、ｙは電極の凸面方向の座標、Ｎは３以上の整数）で表現される高次関数の何れかであり、電極幅内において、ΔＥ＝電界強度の差、Ｅave＝電界強度平均値とし、その割合ΔＥ／Ｅaveが３５％以下である。 （もっと読む）

【課題】 レーザガスの圧力を高くすることにより、レーザ出力を高めることができるが、レーザガスの圧力を高くすると、放電開始電圧が上昇するため、出力電圧の高い電源を用いなければならない。
【解決手段】 誘電体からなるレーザ容器が、レーザガスを収容する放電空間を画定する。レーザ容器の放電空間に面する表面に沿って沿面放電を生じさせる電極が配置されている。 （もっと読む）

垂直方向に離間し電気的に絶縁され互いに平行な縦長の通電及び接地平板電極を備えるＣＯ_２ガス放電レーザーに関する。各電極はその両縁に沿って設けられたセラミックスペーサストリップで離間されている。補助電極が通電電極の両端部に長手方向に離間して通電電極と同一面内に設けられる。補助電極は接地電極から垂直方向に離間するが、電気的に接地電極に接続される。補助電極は、セラミックストリップの内縁間の離間距離より小さい距離だけ離間した２つの隆起部を有する。補助電極の隆起部は、レーザーを操作している際に共振器内に発生するレーザー光によるセラミックストリップの侵食を防止する。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ加工機に用いられるガスレーザ発振装置の高出力化に伴う誘電体に印加される熱応力を緩和した発振用電極構造を提供する。
【解決手段】放電空間５５に対向して設けられた放電電極１ａ、１ｂを収納する容器２ａ、２ｂのフランジ面２１に段付部３０を有する誘電体３ａ、３ｂが固定具４ａ、４ｂを介し、締付ボルト５によって真空タイトに取り付けられており、固定具４ａ、４ｂには、所定の隙間Ｓ、Ｓ２を有して誘電体３ａ、３ｂの段付部３０に当接する第１の突起部４１，フランジ面２１に当接する第２の突起部４２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】同一共振器内に複数組の電極対を配置して交互発振するパルスガスレーザ装置において、フロントミラー側の放電によるレーザ光とリアミラー側の放電によるレーザ光の放電方向のビームダイバージェンスを同等にすること。
【解決手段】レーザガスが封入されたチャンバ３０内に複数組の一対の電極３０ａ〜３０ｄを設け、電極３０ａ〜３０ｄへパルス状の電圧を順次印加して放電を発生させ、リアミラー３６とフロントミラー３７で構成される共振器で共振させて、発振段レーザ１００から注入されるレーザ光を増幅して出力する。レーザ光の出射側であるフロントミラー３７側に、スリット５０を設け、その放電方向のサイズを、電極３０ａ，３０ｂ間での放電により出力されるレーザ光の放電方向のビームサイズと同じか、それより小さくする。 （もっと読む）

【課題】低コストで、レーザ発振効率のよいガスレーザ装置を得る。
【解決手段】レーザガス流方向と放電の電界方向とが直交するとともに、レーザ光出力方向がレーザガス流方向と電界方向とにほぼ直交する３軸直交形のガスレーザ装置において、光学空洞内に一組の電極対を設けるものとし、レーザガス流方向における、レーザ光出力方向に沿うレーザ光軸（レーザ光の配置を１０で示す。）と、レーザ光軸に対して平行に配置される上記電極対の平板状電極のレーザ光軸に近い側の長辺（２０２）との距離Ｄが、レーザ光軸におけるレーザガス流速の大きさに応じた値となるように、平板状電極（下電極２）の長辺（２０２）を曲線形状に形成して同装置内に配置する。 （もっと読む）

ガス放電レーザシステム、特に、横放電ガスレーザのための伸張可能電極システムを提供する。一方又は両方の放電電極が侵蝕による寸法変化に受ける横放電ガスレーザチャンバにおける放電電極の一方又は両方を伸張させるためのシステム及び方法を本明細書で開示する。電極伸張を行って、チャンバ耐用期間を延長させ、チャンバ耐用期間にわたってレーザ性能を増大させ、又はその両方が可能である。運用上は、電極間間隔は、電極間の特定のターゲット間隙距離を維持するか、又は帯域幅、パルス間エネルギ安定性、ビームサイズなどのようなレーザ出力ビームの特定のパラメータを最適化するように調節することができる。 （もっと読む）

【課題】ランプから放射される光子を有効に利用することを可能とし、レーザガスを所望のイオン化状態にするために必要な電力を有効に利用する。
【解決手段】レーザガスをガス放電するための励振手段を設け、レーザガスに光子を放射してレーザガスの解離を促進するランプ７６とを設ける。このランプ７６を保持し内壁がランプ７６の光をレーザガスの放電領域に集光させる凹面状の部分を有するランプハウジング７７を設ける。ランプハウジング７７の凹面状の部分はＡｕなどの光反射材料でコーティングされている。
【選択図】図１５
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【課題】真空シール材を滑動させる必要なしに真空容器の外部から共振器鏡の角度を調整し、鏡の傾き角が支点を基準に変移するため最適な鏡角度を選択する。
【解決手段】電極を有しレーザガスを封入した容器と、この容器の両端に真空シールを与えるように取り付けられた一対のフランジと、この一対のフランジに取付ける光共振器とを備えたレーザの調整式鏡保持機構であって、光共振器の少なくとも一方は、真空シールして保持する様に片端が取り付けられたべローズ２９と、このベローズ２９の他の片端に取り付けられてフランジを貫通する共振器鏡ホルダ２８と、この共振器鏡ホルダ２８に取り付けられて共振器鏡ホルダ２８の角度を変化させる鏡フランジ１１、１２と、共振器鏡ホルダ２８の傾きの支点を決める支持ピン４０および支持ピン溝４１を有する。
【選択図】図６
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【課題】比較的コンパクトな構成で独立した２本以上のレーザビームを個別に所望の出力で発生することができ、また各レーザビームをその品質を個別に調整して発生することができる３軸直交型のガスレーザ発振器を得ること。
【解決手段】レーザ媒質である混合ガスを充填した１つの真空容器１内に、長軸と短軸とを有する２つの板状電極を対向配置した電極対２，３及び対応する光共振器２５ａ，２５ｂで構成される２つの独立したレーザ発振系が上下方向に所定間隔を置いて並んで配置され、前記独立したレーザ発振系の各々における放電ギャップに短軸方向から混合ガスを冷却しながら循環供給する送風機１０、熱交換器１１及びガスダクト１２が配置される。電極対２，３への投入電力を互いに独立に制御する。光共振器２５ａ，２５ｂ各々の構成部品は発生するレーザビーム２６ａ，２６ｂが所望の品質となるように選択する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の位置ずれの発生が防止され、安定したレーザを発振可能なレーザ発振器を得ること。
【解決手段】レーザ媒質ガスと、レーザ光の光軸方向に分割されて対向して配置される少なくとも２対の放電電極対と、レーザ媒体ガスを対向する放電電極対の間を通して循環させる手段と、放電電極対ごとにそれぞれ独立に設けられて独立に交流電力を発生させる交流電源と、交流電源における交流電力の発生をそれぞれ独立に制御する制御手段と、出力されたレーザ光の光軸位置を検出する測定手段と、を有し、制御手段が、測定手段での測定の結果に基づいて交流電源における放電電極対ごとの交流電力を調整して放電電極対ごとの放電電力を調整し、レーザ光の光軸位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】 必要ガス流速の増大及びファンへの投入電力の増大を抑え、４ｋＨｚ以上のさらなる高繰り返し動作と長時間使用を可能にした放電励起式パルス発振ガスレーザ装置。【解決手段】 細長いアノードとカソードの放電面形状が、電極長手方向に直交する断面において凸面の曲線形状であり、接地電位の電極の幅Ｗｅと放電電極間の最小間隔ｇがｇ／Ｗｅ＞３の関係を有し、放電電極間へ４ＫＨｚ以上のパルス繰り返し数で、５０ｍＪ／ｃｍ³ 以上の密度の電力を供給する電源を備えており、放電面の凸面の曲線形状が、楕円、双曲線、又は、ｘ^N ／（Ｗｅ／２）^N ＋ｙ^N ／ｈ^N ＝１（ｈは電極曲線部高さ、ｘは電極の幅方向の位置座標、ｙは電極の凸面方向の座標、Ｎは３以上の整数）で表現される高次関数の何れかであり、電極幅内において、ΔＥ＝電界強度の差、Ｅave ＝電界強度平均値とし、その割合ΔＥ／Ｅave が３５％以下である。 （もっと読む）

【課題】２つの寿命の短いゲイン手段、すなわち１つはシードビームを発生し、もう一方は該シードビームを増幅する手段を提供する。
【解決手段】少なくとも毎秒１０００パルスの繰返数で放電を発生するためのパルス電源を有する単一チャンバ式のガス放電レーザシステム。放電は、レーザ光学器械と共に、２つの持続期間の短いゲイン手段を生成し、一方はシードビームを生成するためのものであり、他方は、該シードビームを増幅するためのものである。チャンバの循環パスに沿ってレーザガスが循環され、電極（１８Ａ）及び放電は、ゲイン手段の一方から生じるデブリが、放電時に、チャンバの循環パスの少なくとも９０％の周りを廻るまでは、該デブリが他方のゲイン手段に循環しないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】絶縁破壊の発生や封入ガスの汚染を防止し、均一なイオン化を実現する。
【解決手段】エキシマレーザ１０は、純度が９９．９重量％以上、密度が３．９９ｇ／ｃｍ³以上、開気孔率が０．３％未満、絶縁耐圧が１５ｋＶ／ｍｍ以上であり、中空部１ｂを有するアルミナ管１と、アルミナ管１の中空部１ｂに配置されているコロナ放電用の内側電極２ａと、アルミナ管１の外周面に接して配置されているコロナ放電用の外側電極２ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、特に高出力エキシマレーザーによって生成された、パルス化ガスレーザービームの空間的時間的均一性の制御に関する。
【解決手段】
本発明によれば、二つの隆起した側方部分（１１１，１２１）が、少なくとも一つの放電電極（１０１）に設けられており、前記部分は、放電がこのレベルにて初期化され且つ前記側方部分の間の電極の全表面にわたって広がった後に、絶えずこのレベルを保ち続けることを可能とする。電界の均一性の欠如によって起こる放電の均一性の欠如を補うために、予備イオン化Ｘ線のコリメーションマスク（１０３）は、放電の外側レベルから同中心まで予備イオン化を次第に強化する目的で、その縁部からその中心に向けて薄くされている。本発明は、それぞれ、空間的に均一で且つ時間的に安定である、放電、およびプラズマ、が得られることを可能とする。
（もっと読む）

【課題】所望の電極間流速のレーザガスを安定して放電空間に誘導できるとともに、主放電で発生する音響波の影響、特に放電方向の音響波成分の影響を低減し、スペクトル線幅等のレーザ性能の周波数特性を改善することができるガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】互いに対向して配置された一対のアノード電極及びカソード電極からなる主電極と、前記主電極を含むレーザガス流路とを備え、前記主電極間に高電圧を印加してパルス状の主放電を行い、最高発振周波数が４ｋＨｚ以上のパルス発振をするパルス発振型放電励起レーザ装置において、少なくとも前記主電極のいずれか一方の放電面近傍のレーザガス流路壁面に、主放電によって発生する音響波の放電方向の成分を放電空間の外部に反射する傾斜面が形成されている。 （もっと読む）