Fターム[5F083CR18]の内容
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半導体装置とその作製方法
【課題】無線通信により交信可能な半導体装置において、個体識別子を容易に付けることができるようにする。また信頼性の高い半導体装置を提供する。
【解決手段】チャネル形成領域と、ソース領域またはドレイン領域を有する島状半導体膜131〜134と、ゲート絶縁膜と、ゲート電極103〜106とを有する薄膜トランジスタ118〜121と、層間絶縁膜と、層間絶縁膜中に形成され、ソース領域またはドレイン領域の一方に達する複数のコンタクトホール142を含む第1のコンタクトホールと、ソース領域またはドレイン領域の他方に達する第2のコンタクトホール141とを有し、第2のコンタクトホール141の径は、第1のコンタクトホールに含まれる複数のコンタクトホール142のそれぞれの径より大きく、第1のコンタクトホール142の底面積の合計と、第2のコンタクトホール141の底面積は等しい半導体装置に関するものである。
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