【課題】複数のレーザ光を高分解能かつ高精度で対象物に照射可能とする性能を有するサイドレーザ照射器を提供する。
【解決手段】長尺形状の対象物の側方からレーザ光を照射するサイドレーザ照射器５，６において、供給されるレーザ光の断面における幅方向の長さを拡大し、拡大されたレーザ光を幅方向に分割し、分割されたレーザ光のそれぞれを屈折させることによって分割されたレーザ光同士の間に光路差をもたらし、かつ屈折されたレーザ光の前記幅方向の長さを縮小するように構成されており、複数の縮小されたレーザ光を、対象物の長手方向の一端から該一端に対向する他端に向かって順次照射する構成となっているサイドレーザ照射器５，６。 （もっと読む）