【課題】ＯＮ／ＯＦＦ動作回数を重ねても擬着が発生しない接点を有するスイッチ。
【解決手段】第１接点および第１接点と接触する表面に保護導電層が設けられた第２接点を備えるスイッチ装置であって、第１接点および第２接点を接触または離間させる可動部と、保護導電層に対して保護用の金属を補う金属供給部と、を備えるスイッチ装置、試験装置、スイッチ方法、および製造方法を提供する。第２接点は、接点用の金属を含む接点層を有し、金属供給部は、第１接点とは反対側から接点層を介して第１接点側へと保護用の金属を析出させる。 （もっと読む）

【課題】 低電圧・低消費電力系の素子と一体的に形成することが可能な程度に低電圧化・低消費電力化した可動素子、ならびにその可動素子を内蔵するモジュールおよび電子機器を提供する。
【解決手段】 半導体基板１０上に、信号を伝送するための信号線路１１と、信号線路１１を機械的に継断するための継断手段１２と、熱アクチュエータまたは圧電アクチュエータのいずれか一つを含んで構成された、継断手段１２を切り替えるための切替手段１３と、ラッチ性を有する材料により構成された、継断手段１２の切り替え後の状態を保持するための保持手段１４とを備える。このような回路構成を選択することにより、実用に耐える程度の低電圧化と低消費電力化とを両立させることができる。 （もっと読む）

【課題】バイモルフ素子の形状の経時変化を防止する。
【解決手段】バイモルフ素子の製造方法は、犠牲層の上に金属層を形成する金属層形成段階と、金属層形成段階で形成した金属層を焼き鈍しする焼き鈍し段階と、焼き鈍し段階において焼き鈍しされた金属層の上に酸化シリコン層を形成する酸化シリコン層形成段階とを備える。金属層形成段階は、析出硬化型の金属化合物により金属層を形成する。焼き鈍し段階は、金属層を形成する金属の再結晶温度よりも高い温度で金属層を焼き鈍しする。 （もっと読む）