【課題】少ない演算量で機械の振動を抑制することが可能な指令発生装置の設計方法、指令発生装置の製造方法、指令発生方法、指令発生装置、モータ制御装置の製造方法、及びモータ制御装置を提供する。
【解決手段】指令発生装置２０の設計方法は、関数ａ（ｔ）を設定するステップと、関数ａ（ｔ）をラプラス変換して関数Ａ（ｓ）を求めるステップと、極を定める減衰係数がそれぞれ０、かつ極を定める固有角周波数が、それぞれ関数ａ（ｔ）に含まれるパワーが０の異なる周波数ωｓであり、零点が、それぞれ複数の振動成分をもつシステムの各振動極であり、定常ゲインがそれぞれ１となる複数の２次の伝達関数Ｇ１（ｓ）〜Ｇｎ（ｓ）（ｎは自然数）を設定するステップと、関数Ａ（ｓ）と伝達関数Ｇ１（ｓ）〜Ｇｎ（ｓ）とを乗じて関数Ｆｂ（ｓ）を求めるステップと、関数Ｆｂ（ｓ）を逆ラプラス変換して関数ｆｂ（ｔ）を求めるステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 スライダ部の加速時、減速時、定速移動時の振動発生時にピッチング及びローリングを抑制する機能を具備したＸＹステージを実現する。
【解決手段】 スライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、スライダ部のピッチング角速度を検出するための信号を出力する第１のＺ軸センサと、スライダ部のローリング角速度を検出するための信号を出力する第２のＺ軸センサとを有することを特徴とするＸＹステージである。 （もっと読む）