Fターム[5H307BB18]の内容
Fターム[5H307BB18]に分類される特許
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プロセスチャネル内の流れを制御する流れ配送チャネル
本発明は、マイクロチャネルのアレイに対する流れを制御するために使用可能な機能を記述する。本発明はまた、プロセスストリームが複数のマイクロチャネルに分配される方法を記述する。
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流体制御装置
【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なえるもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることなく、スラリーを使用してもスラリーが固着しにくく、配管後の流量の設定変更や、流路の遮断が可能であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子12と超音波振動子12から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部60に出力する超音波振動子13とを有する流量計センサ部4と、操作圧により流体の流量を調整する空気駆動式ピンチ弁5とを具備し、少なくとも流量計センサ部4と空気駆動式ピンチ弁5とが、流体流入口3と流体流出口6とを有する1つのケーシング2内に接続されて設置されてなる。
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