【課題】パーティクルの巻き上げを低減し、圧力調整精度の向上及び調整時間の短縮化が図られたチャンバ圧力調整装置を提供する。
【解決手段】チャンバ２２内のガスを吸引するポンプ４２を備える構成とし、チャンバ２２とガスポンプ４２とを連通する連通管５２に圧力調整ガスを導入し、ポンプ４２による流量を一定として、圧力調整ガスの導入量を制御することで、チャンバ２２内の圧力調整を行う。チャンバ２２内にガスを供給することなく、チャンバ２２内のガスを吸引する構成であるため、チャンバ２２内における気流の発生を抑えることができ、パーティクルの巻き上げを防止することができる。また、ポンプ４２による流量を一定としているため、ポンプ４２の回転数制御を行う必要が無く、圧力調整ガスの導入量を調整することで、圧力調整精度を向上させ、圧力調整時間の短縮が図られる。 （もっと読む）

【課題】燃料遮断弁１０は、リリーフ弁７０の開いた後に元の位置に復帰する際の位置ズレを防止し高いシール性を得ること。
【解決手段】燃料遮断弁１０は、ケーシング２０内にフロート機構５０および圧力調整弁機構６０を備えている。圧力調整弁機構６０は、接続通路７４ａに臨んで設けられかつフロート機構５０の昇降により開閉されるフロート用弁開口７４ｂを有し、リリーフ用弁開口３３ｂを開閉するリリーフ弁体７１を備えている。リリーフ弁体７１は、リリーフ通路３３ａに臨んで形成されたガイドリブ３３ｄで、リリーフ通路３３ａの付近で軸方向へガイドされる。 （もっと読む）

本発明のバランサ装置は第一弁および第二弁（３５ａ、３５ｂ）を有し、各弁がチャンバ（１３ａ、１３ｂ）を備え、該チャンバは、導入オリフィス（１９ａ、１９ｂ）を介して第一流体または第二流体を保持する回路に連通し、かつ、排出オリフィス（１８ａ、１８ｂ）を介して、第一流体または第二流体の排出手段に連通し、排出オリフィス（１８ａ、１８ｂ）の閉位置と開位置との間で移動できるように弁のチャンバ内に取付けられた少なくとも１つの逆止弁（２０ａ、２０ｂ）と、該逆止弁に連結されたピストン（２２ａ、２４ａ、２２ｂ、２４ｂ）と、逆止弁を閉位置に戻す弾性戻し手段（３２ａ、３２ｂ）とを更に有する。
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